Keywords: DRIE Bosch process.png Diagram of the Bosch process of w Deep reactive-ion etching Deposit and pattern masking layer a Etch Passivate Etch Structure after many etch steps After stripping passivation and mask b Comb structure Verfahrensschritte DRIE Auftragen und Strukturieren des Resist Ätzen Passivieren Ätzen Strukturtiefe erreicht Struktur nach dem Strippen von Resist und Passiverungssschicht b Kammstruktur Modification of de Bild Verfahrensschritte-DRIE png 00 21 9 January 2007 UTC Gurgelgonzo original Smack talk modification Public domain de Bild Verfahrensschritte-DRIE png Etching microfabrication |